通常把分辨率能夠達到微米量級的CT設備稱作顯微CT,或者微米CT。
傳統的顯微CT使用平板探測器,在結構設計是通過幾何投影放大直接成像,主要依靠較小的光源焦斑和較大的幾何放大比實現高分辨。如下圖所示,是典型的幾何投影放大的原理圖。當燈泡樣品距離X射線源較遠時(如上圖),燈絲的成像分辨率較低;當將樣品靠近X射線源后(如下圖),燈絲的成像分辨率顯著提高,但由于燈泡外殼的存在,燈絲位置無法再繼續靠近X射線源,此時即為幾何投影放大的最高分辨率,可以看到,幾何投影放大在較大工作距離下無法得到高分辨率成像,也可理解為對大尺寸樣品無法進行高分辨成像(工作距離為X射線源到樣品旋轉中心的距離)。
幾何投影放大原理示意圖
三英精密獨特的物鏡耦合技術,基于光學二級放大進行成像(如下圖所示),系統的放大倍數是幾何投影放大倍數與光學放大倍數的乘積,可以看到,即使燈泡樣品在距離X射線源較大距離下,依然可以獲得最高的分辨率。實現了大尺寸樣品和大工作距離下的高分辨率成像。
光學二級放大示意圖
下圖為物鏡耦合探測器的光路圖,穿透樣品的X射線被閃爍體轉變為空間上連續的可見光,再通過常規的顯微成像光路系統將可見光進行放大,用CCD相機采集可見光信號。
物鏡耦合探測器光路圖
在實際的顯微CT設備中,通常將平板探測器和物鏡耦合探測器配合使用,發揮二者各自的優點,提升設備整體的技術性能。